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Ehrlich, Richard／Levitin, Daniel J.／Selvin, Joel
Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics: Volume 101 (MRS Proceedings)
Ehrlich, Daniel J.／Higashi, Gregg S.／Oprysko, Modest M.
Laser-Controlled Chemical Processing of Surfaces (Materials Research Society Symposium Proceedings)
Johnson, A. Wayne／Ehrlich, Daniel J.／Schlossberg, Howard R.
Laser microfabrication : thin film processes and lithography
edited by Daniel J. Ehrlich, Jeffrey Y. Tsao
Emerging technologies for in situ processing
edited by Daniel J. Ehrlich and Van Tran Nguyen
Lasers in microlithography : 2-3 March 1987, Santa Clara, California
Daniel J. Ehrlich, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering

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