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半導体プラズマプロセス技術
菅野卓雄編著
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Si MOSデバイスの物理
菅野卓雄編著
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半導体集積回路
菅野卓雄執筆
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ULSIデバイス・プロセス技術 新版
伊藤 隆司／卓雄, 菅野
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MOS電界効果トランジスタの応用
垂井康夫／菅野卓雄
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超伝導エレクトロニクス: 基礎とマイクロ波応用 (シュプリンガー現代物理学シリーズ)
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化合物半導体エレクトロニクス
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ULSIプロセス技術
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半導体大事典 : Dictionary of semiconductor technology & industry
菅野,卓雄,1931- 川西,剛,1929-
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