半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック

中瀬 真（著） 山岡 亜夫（著） 上野 巧（著） 塘 洋一（著） 後河 内透（著） 内藤 卓哉（著） 村井 二三夫（著） 花畑 誠（著） 中村 二朗（著） 松尾 隆弘（著） 伊東 敏雄（著） 老泉 博昭（著） 田中 稔彦（著） 橋本 訓（著） 木原 尚子（著） 松澤 敏晴（著） 大藤 武（著） 田中 初幸（著） 上野 巧（編集） 田中 啓順（編集）