超高純度ガスの科学 (2) データ編 (Surface science technology series (2))

菅野 洋一（著） 門永 敏樹（著） 牧 賢一郎（著） 原田 茂人（著） 平田 克己（著） 田窪 昭彦（著） 宮下 直也（著） 三平 博（著） 乾 裕（著） 塚崎 和生（著） 中島 秀敏（著） 宮崎 清彦（著） 田上 市郎（著） 新田 次郎（著） 青野 宏（著） 杉山 和彦（著） 国本 温（著） 溝上 敏（著） 宮野 安定（著） 大見 忠弘（編集）