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Predictive Simulation of Semiconductor Processing: Status and Challenges (Springer Series in Materials Science, 72)
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詳しい情報
出版社: Springer(2004-05-05)
ハードカバー: 507 ページ / 15.9 x 1.9 x 23.5 cm
ISBN-10: 3540204814 ISBN-13: 9783540204817