Enabling Technology for MEMS and Nanodevices: Advanced Micro and Nanosystems

Baltes, Henry（編集） Brand, Oliver（編集） Fedder, Gary K.（編集） Hierold, Christofer（編集） Korvink, Jan G.（編集） Tabata, Osamu（編集）

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出版社: Wiley-VCH(2004-08-06)

ハードカバー: 439 ページ / 17.8 x 2.5 x 24.4 cm

ISBN-10: 352730746X ISBN-13: 9783527307463