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Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices IV: Volume 687 (MRS Proceedings)
詳しい情報
出版社: Cambridge University Press(2002-05-23)
ハードカバー: 334 ページ / 15.9 x 1.9 x 22.9 cm
ISBN-10: 1558996230 ISBN-13: 9781558996236