1997 2nd International Symposium on Plasma Process-Induced Damage, Pip: 13-14 May 1997, Monterey, California, USA

International Symposium on Plasma Process-Induced Damage (2nd : 1997 : Monterey, Calif.)（著） Cheung, Kin P.（著） Nakamura, Moritaka（著） Gabriel, Calvin T.（著） American Vacuum Society（著） Oyo Butsuri Gakkai（著）