Introduction to Microlithography (Acs Professional Reference Book)

Thompson, Larry F.（編集） Willson, C. Grant（編集） Bowden, Murrae J.（編集） Thompson, L. F.（編集） Willson, C. G.（編集） Bowden, M. J.（編集）

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出版社: Amer Chemical Society(1994-05-05)

ハードカバー: 540 ページ / 15.7 x 3.6 x 23.1 cm

ISBN-10: 0841228485 ISBN-13: 9780841228481