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Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)
詳しい情報
出版社: William Andrew(1991-01-14)
ハードカバー: 546 ページ / 17.8 x 4.4 x 24.8 cm
ISBN-10: 0815512201 ISBN-13: 9780815512202