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Micro-Electro-Mechanical Systems (Mems) 1998: Micro-Manuacturing Processes in Mems and Other Advanced Systems (Dsc (Series), Vol. 66.)

Zhang, Xiang（編集） Aluru, Narayan R.（編集） Lin, Liwei（編集） Forster, Fred K.（編集） International Mechanical Engineering Congress and Exposition (1996 : Atlanta, Ga.)（著） American Society of Mechanical Engineers Dynamic Systems and Control Division（著）

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詳しい情報

出版社: Amer Society of Mechanical(1998-01-01)

ペーパーバック: 593 ページ / 21.6 x 3.2 x 28.6 cm

ISBN-10: 079181596X ISBN-13: 9780791815960